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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2024-04-18 
瀏覽次數(shù)：410英國(guó) Michell Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器高純氣半導(dǎo)體制造等應(yīng)用
特點(diǎn)
測(cè)量范圍低可達(dá) -120°Cdp (1ppbV)
穩(wěn)定而可重復(fù)的測(cè)量
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡(jiǎn)單
VCR 過(guò)程連接
可選的顯示/報(bào)警單元
設(shè)計(jì)緊湊
快速響應(yīng)
可選危險(xiǎn)區(qū)域認(rèn)證
校準(zhǔn)更換服務(wù)
這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器，用來(lái)測(cè)量高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡(jiǎn)單，可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào)，是一款完的全可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。
規(guī)格
| 傳感器 |
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| 傳感器類型 | 密析爾先進(jìn)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器 | |
| 量程 | -120 - -40°Cdp (校準(zhǔn)范圍 -100 - -40°C) | |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°Cdp | |
| 工作壓力 | 最小 10-7 Pa (10-9 torr) | |
| 工作溫度 | -40 ~ +60°C | |
| 流量速率 | 1 ~ 5 Nl/min | |
| 電氣 |
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| 電源 | 標(biāo)稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置 | |
| 輸出 | PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制 | |
| 顯示電纜 | PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標(biāo)準(zhǔn)) / 5 or 10m (可選) | |
| 機(jī)械l |
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| 傳感器模塊 | 高級(jí)版 和 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內(nèi)部電拋光 | |
| 壓力連接 | 高級(jí)版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接 | |
| 安裝配置 | 高級(jí)和 OEM 版: 120mm 間距, 通過(guò)氣體端口密封 | |
| 外形尺寸 | 高級(jí)版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h) | |
| 重量 | 高級(jí)版和 OEM 版: 450g | |
| 包裝 | Pura 高級(jí)版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封 | |
| 更換服務(wù) | 可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接 | |
| 顯示 | 高級(jí)版在線顯示: PUR-AOL | 在線顯示: PUR-OL |
| 測(cè)量單位 | °F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率 | 由兩線制傳感器輸入定義的簡(jiǎn)單顯示 |
| 二次測(cè)量變量 | 通過(guò)外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg) | PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV |
| 電源 | 通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC | 100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz |
| 防護(hù)等級(jí) | IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板 | IP65 前面板 (IP20 后面板) |
| 工作溫度 | 0 ~ +50°C | 0 ~ +50°C |
| 繼電器 | 2 個(gè) 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應(yīng)所選設(shè)備的所有量程 + 傳感器故障報(bào)警功能 | 報(bào)警 1 繼電器: 單級(jí)接觸, 額定 3 A @ 250 V AC |
| 顯示分辨率 | 5 位 | 4 位 |
| 輸出: 模擬 | 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程 | 0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程 |
| 輸出: 數(shù)字 | RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數(shù)字訪問(wèn)和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性 | RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數(shù)字訪問(wèn)和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性 |
| 選項(xiàng) |
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| 電源 | 18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC | 24 V DC |
| 繼電器 | 1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應(yīng)所有量程 + 全部設(shè)備可選 + 傳感器故障報(bào)警功能 | 1 路繼電器可選 - 參考工廠 |
| 輸出: 模擬 | 0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程 | 0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯(lián)電阻 |
| 輸出: 數(shù)字 | RS485 |
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